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Equipo de deposición de vapor químico de plasma de corriente continua de cátodo caliente (DCCVD)
El equipo de deposición de vapor químico de plasma de corriente continua de cátodo caliente (DCCVD) se desarrolla sobre
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Información básica
| N º de Modelo. | CY-O1200-DCCVD |
| Material | Acero |
| Tipo | horno tubular |
| Vacío definitivo | 0,1 ~ 1 PA |
| Tiempo de bombeo | 5~15min |
| Configuración de ventilación | Garantizar la uniformidad del bombeo |
| Corriente de trabajo | 6~15A |
| Tensión de funcionamiento | 600~1200V |
| Paquete de transporte | Cartón de madera de capas |
| Marca comercial | CYKY |
| Origen | Zhengzhou, China |
| Código hs | 85143090 |
| Capacidad de producción | 20 juegos/mes |
Descripción del Producto
El equipo de deposición de vapor químico de plasma de corriente continua de cátodo caliente (DCCVD) se desarrolla sobre la base de la descarga luminiscente de cátodo frío convencional, y se utiliza principalmente para la deposición y el crecimiento de película monocristalina o policristalina de diamante.
El área de composición y las características básicas de la descarga luminiscente de cátodo caliente:
La descarga luminiscente del equipo de deposición de vapor químico de plasma de corriente continua de cátodo caliente se puede dividir en cuatro áreas a lo largo del eje del cátodo al ánodo: capa de brillo de cátodo, zona oscura de Faraday, bola de plasma de brillo de columna positiva y capa de brillo de ánodo. Entre ellos, la capa de brillo del cátodo es una capa delgada que emite luz cerca del cátodo, donde ocurre la descarga de onda enorme, que juega un papel importante en el proceso de descarga de brillo; la zona oscura de Faraday es la zona de transición entre la zona del cátodo y la zona de la columna positiva. Los electrones chocan en la región del cátodo y pierden energía, y los electrones lentos no son suficientes para provocar la ionización y excitación, por lo que presentan una zona oscura que no emite luz; la bola de plasma incandescente en el área de la columna positiva está en la posición más obvia de la descarga luminiscente, y su ancho es aproximadamente el cátodo. El espaciado del ánodo es de aproximadamente 4/5, y la longitud cambia con el cambio del espaciado del ánodo y el cátodo; en comparación con el área de la columna positiva brillante, la capa de brillo del ánodo emite una luz ligeramente más oscura.
El cátodo caliente, la alta presión de gas y la alta densidad de corriente son las características básicas de la descarga luminiscente de cátodo caliente que son diferentes de la descarga luminiscente de cátodo frío convencional. Durante la descarga, hay una distribución de intensidad de brillo, color y brillo entre los electrodos, que se dividen en cuatro áreas obvias. La descarga luminiscente cubre toda la superficie del cátodo y el voltaje de descarga aumenta con el aumento de la corriente de descarga; la emisión de electrones del cátodo se combina con la emisión térmica y el proceso γ, y el grado de polarización entre los dos está determinado principalmente por la temperatura del cátodo; la zona de caída del cátodo es para mantener el brillo La parte indispensable de la descarga de luz, el grosor de esta área es muy delgado, hay una caída de alto potencial, por lo que la intensidad del campo en esta área es muy alta y genera una descarga de onda enorme . La densidad de corriente de la descarga luminiscente de cátodo caliente es mucho mayor que la de la descarga luminiscente de cátodo frío.
Parámetros técnicos de DCCVD del equipo de deposición de vapor químico de plasma de CC de cátodo caliente:
cámara de deposición | Capa intermedia refrigerada por agua de acero inoxidable | Diseñe el tamaño de cavidad adecuado de acuerdo con el tamaño del electrodo para garantizar que no haya descarga entre la pared de la cavidad y el electrodo |
Forma de cavidad abierta | Levante para abrir la cavidad o abrir la puerta en el frente, conveniente para levantar y limpiar | |
Ventana de observación | Configure múltiples ventanas de observación para garantizar que se puedan observar la tabla de cátodos, ánodos y deposición | |
Sistema de vacío | Bomba aspiradora | El vacío se bombea con una bomba mecánica, no es necesario configurar una bomba molecular |
Vacío definitivo | 0,1 ~ 1Pa | |
Tiempo de bombeo | 5~15min | |
Configuración de ventilación | Garantizar la uniformidad del bombeo. | |
Rango de ajuste de presión de aire | 0.1Pa~30KPa | |
Válvula de escape | Puede ser restaurado a la atmósfera. | |
Indicador de vacio | El indicador de vacío de alta precisión mide con precisión el valor de presión de la cavidad | |
Sistema de distribución de gas | Configuración de la fuente de aire | 5 fuentes de gas de hidrógeno, metano, nitrógeno, argón y oxígeno, con una adicional reservada para respaldo |
Control de flujo de gases | El caudal volumétrico se controla mediante MFC y se selecciona un caudalímetro con un rango adecuado según el tamaño de la cavidad. Los diferentes tamaños de flujo afectarán el tiempo de aumento de la presión. En general, el caudal de hidrógeno: metano: nitrógeno: argón: oxígeno es 40:1:1:40:1 | |
Ajuste de entrada de aire | Ajuste razonable de la entrada de aire para garantizar la uniformidad de la entrada de aire | |
Sistema de refrigeración por agua | Energía del enfriador de agua | La potencia de enfriamiento y el cabezal del enfriador de agua deben coincidir con la generación de calor del equipo y el flujo de agua de enfriamiento, y la temperatura debe ser ajustable, generalmente establecida en aproximadamente 20 °C. |
Válvula | La cámara de deposición, el cátodo y el ánodo deben enfriarse, y es necesario instalar un separador de agua, y se colocan válvulas manuales en la entrada y salida de cada ramal en el separador de agua. | |
Temperatura de funcionamiento | La temperatura de trabajo del ánodo es de 600-1100ºC, la temperatura de trabajo del cátodo es de 700-1100ºC | |
Fuerza | Tensión de funcionamiento | 600~1200V, voltaje de salida ajustable |
corriente de trabajo | 6~15A | |
Sistema de control | 1) Control de flujo de gas; 2) Control de elevación de electrodos, visualización en tiempo real de la distancia del cátodo y el ánodo, precisión de control de 1 mm; 3) Monitoreo y visualización de la temperatura del cátodo, ánodo y sustrato; 4) Algunas funciones se pueden ajustar manualmente, como la presión del aire; 5) Alarma de falla para evitar un mal funcionamiento; | |
Electrodo | 1) El diámetro del ánodo es de 60 mm y el material es cobre. 2) El diámetro del cátodo es de 80~100 mm y el material es molibdeno. Después de un uso prolongado, es fácil depositar carbono en la superficie del cátodo y la descarga es inestable. Por lo tanto, debe diseñarse como una estructura reemplazable; 3) La distancia entre el cátodo y el ánodo es ajustable, el rango es de 10 ~ 60 mm, la distancia se muestra en tiempo real y la precisión de ajuste es de 1 mm; 4) Los bordes del cátodo y el ánodo se pueden redondear para evitar la descarga del borde; 5) El ánodo puede tener una polarización negativa y el rango de voltaje de polarización es de 0 ~ 400 V; 6) El borde del electrodo está aislado para evitar la descarga del borde; | |
Fundada en 2005, Zhengzhou CY Scientific Instrument es una empresa especializada en el desarrollo y producción de equipos de investigación de tecnología de laboratorio. Los productos se mezclan, prensan, queman, cortan, muelen, pulen, recubren, equipos analíticos y consumibles relacionados. Los productos incluyen equipos de sinterización de laboratorio, equipos de recubrimiento, etc. En la actualidad, se ha exportado a 25 países y regiones como Estados Unidos, Europa y el Sudeste Asiático, y ha sido bien recibido por varias unidades de investigación científica.
Contamos con un equipo maduro de investigación y desarrollo de tecnología, el número de técnicos es 33, la empresa tiene 150 personas, más de 500 metros cuadrados de espacio para oficinas, la fábrica cubre un área de aproximadamente 1500 metros cuadrados ubicada en Zhengzhou High-tech Zone Electronic Parque Industrial. Los productos se encuentran principalmente en el mercado de investigación, sirviendo a la investigación científica en los laboratorios de universidades y colegios, y también pueden personalizar los productos según sus necesidades.
P. ¿Es usted un fabricante o una empresa comercial?
A.Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, tenemos su propio equipo de diseño y fábrica, tenemos experiencia técnica madura y podemos garantizar la calidad de los productos y el precio óptimo.
P. ¿Cómo es el sistema de servicio posventa de productos de su empresa?
A. El período de garantía del producto es de 12 meses, podemos proporcionar mantenimiento de por vida. Contamos con departamentos profesionales de preventa y posventa que pueden responderle dentro de las 24 horas para resolver cualquier problema técnico.
P. ¿Cuál es su tiempo de entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo se tarda?
A. 1. Si los productos están en stock, es de 5 a 10 días. 2. Podemos proporcionar servicios personalizados para nuestros clientes. Por lo general, demora entre 30 y 60 días, según las especificaciones del instrumento personalizado.
P. La fuente de alimentación y el enchufe de nuestro país son diferentes. ¿Cómo lo resuelves?
A.Podemos suministrar un transformador y un enchufe de acuerdo con sus requisitos locales según el enchufe de alimentación de diferentes países.
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A.T/T, L/C, D/P, etc., se recomienda utilizar la garantía comercial de Alibaba.
P. ¿Cómo es el paquete de productos? ¿Métodos de entrega?
A.1. Embalaje de caja de madera de señal de fumigación de exportación estándar 2. Envío exprés, aéreo, marítimo de acuerdo con los requisitos del cliente, encuentre la forma más adecuada.
Más preguntas, póngase en contacto con el servicio al cliente.
